文丨泰罗
随着光刻机概念的火热,工业气体板块也随之有所表现。
9月19日,凯美特气涨停,广钢气体、和远气体、金宏气体、雅克科技、杭氧股份等都纷纷上涨。
工业特气被称为中国工业的“血液”,有一家中国公司,掌握了高纯特气的核心技术,成为该产业链上的巨头,它就是华特气体。
华特气体生产的光刻气在国内市占率高达6成,是中国唯一、世界唯四,获得光刻机巨头ASML、GIGAPHOTON认证的中国企业。
它进入了长江存储、中芯国际、华虹宏力、合肥长鑫等几乎所有国内头部芯片企业供应链,实现8寸以上集成电路制造厂商超90%的覆盖率。不仅如此,还参与到英特尔、德州仪器、台积电、三星、英飞凌等十几个国际巨头的产业链中,真正做到与外国同行,尖峰竞争。
都说性格决定命运,华特气体有今天的成就,跟这位头发花白的老人有很大关系。他就是华特董事长,石平湘。
1976年,在佛山市二氧化碳研究所担任经理的石平湘,与上面派来的巡视员,一起参观工厂。
厂房静悄悄的。突然,砰的一声巨响,一名工人紧跟着咆哮:“这个价格太离谱,5N的纯度,1公斤居然要卖90美金。”电子特气的纯度用N来表示,比如99.999%,就是5N,有多少个9,就是多少N。9越多,纯度就越高。
房间里的大象显了形。当时,缺“气”是困扰不少工厂的一大难题,主要依赖进口,不仅价格特别高,还得求着人家买。90美金,是一名工程师几个月的工资。一位专家当场说了句气话:中国的化工人是吃素的吗?
石平湘深受震动,他认为中国要发展,一定要技术领先。中国企业不能满足于吃素,要吃肉。45岁这年,他带头创立广东华南特种气体研究所,经过一段时间的苦苦摸索之后,团队研发出首个气体产品——氩加二氧化碳。石平湘就此踏上“争气”之路。
进入21世纪,电子特气还是被“卡脖子”。而它又是价值链上,仅次于晶圆的一项。
比如,光刻气的纯度,直接影响芯片的性能、良率和成本,从28nm、14nm,到7nm、5nm,越先进的制程,对纯度的要求就越高。
石平湘决定再争一口气,向电子特气领域进军,投入人力、物力进行自主研发。注意,特气种类繁多,并且是小批量、高频次的供货特点,而电子特气一旦出现质量问题,不仅是同批产品,就连整条晶圆生产线都将报废,客户对供应商选择极为谨慎,轻易不会更换供应商。
可想而知,石平湘顶着多大的压力。好在华特成功研发出了自己的电子特种气体,实现了50多个产品等国产替代,做到为 14nm、7nm 产线供料,部分甚至用于 5nm 工艺。除此之外,华特气体的产品还广泛用于生物医疗、光伏新材等等产业当中。
事实上,特种气体用处虽广,但市场规模一直不大,到2025年只有不到500亿,加上利润率不高,很多公司不愿意花精力钻研。但石平湘不管那么多。利润虽薄,却关乎中国工业血液是否握在我们自己手上。30多年来,华特气体获取近百项授权专利,参与制定了多项国家标准,产品出口到超50个国家和地区。
即使已经实现了当初的目标,石平湘还在继续向乙硅烷、锗烷等高价值特气产品,发起研发量产挑战。
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